一． 简介

   超声波清洗是用在晶片清洗机的一种常规的清洗技术，超声波清洗机可以有效去除晶片表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破坏晶片表面特性。根据不同清洗工艺配置相应的清洗单元，各部分有独立控制，随意组合。

二． 结构

超声波清洗机可分为超声波清洗槽，超声波发生器，超声波振板，超声波清洗机槽用坚固弹性好、耐腐蚀的优质不锈钢制成，底部安装有超声波换能振子；超声波发生器产生高频高压，通过电缆联结线传导给换能器，换能器与振动板一起产生高频共振，从而使超声波清洗机清洗槽中的溶剂受超声波作用对污垢进行洗净。

三． 安装方式

   超声波清洗机的根据振盒的安装方式可以分为底部超声和侧面超声，超声波振子安装方式可以分为直接安装槽底的连体式和单独安装振盒上面的分体式，连体式主要运用在槽体是不锈钢上面，分体式主要运用在槽体是塑料材质上面。

四． 作用

   超声波清洗机主要作用于：

1. 光刻后清洗中的去除光刻胶；

2. 氧化前清洗中去掉硅片表面所有的沾污物

3. 抛光后清洗中去掉切、磨、抛的沾污；

4. 外延前清洗中除去埋层扩散后的SiO2及表面污物；

 等等去除各种清洗中可去除的沾污物