单腔立式甩干机

优点：清洗系统应用于各种清洗和干燥工艺。不同配置（可放置台面操作的设备、单台独立、双腔）；适用于晶圆尺寸至200mm；最佳的占地，设备带有滚轮可移动；优越的可靠性；独特的模块化结构；极其便于维修；易于使用和操作

一般特征：适用于晶圆直径至200mm；25片晶圆单盒工艺；标准的高边和低边花篮；可选内置电阻率检测传感器来控制晶圆的清洗工艺；用冷或热的N2辅助晶圆干燥；离心头容易更换

去静电装置安装于工艺腔室区：去离子水回收；去阻率检测装置；机械手自动加载；可放置台面操作的设备、单台独立、双腔；去离子水加热系统；底座置放不锈钢滚轮；溶剂灭火装置；适用特殊设计的花篮